一 適用範囲
炭化ケイ素ウエハーの研磨に使用される
二 製品特徴
1.粒子径の均一性や分散性に優れる。
2．ダメージフリーの研磨加工面が得られる。
3．混合した後のスラリーpHが中性で、取り扱いしやすい。
4.たかい切削率が得られる、良品率が高い。
三 主要技術指標
化学成分 |
コンテンツ |
酸化セリウム |
5－8％ |
脱イオン水 |
92－95％ |
その他 |
≦1％ |
化学や物理的な指標 |
基準値 |
D50 |
80－120nm |
PH値 |
2-3 |
色 |
赤い |
備考：上記データは顧客様の要求によって調整できる。
四 包装・荷姿
5㎏/bucket 20㎏/bucket
0086-731-85512306
0086-731-85512302
